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俄歇電子能譜 (AES)

俄歇電子能譜(Auger Electron Spectroscopy, AES)是一種用電子束為激發(fā)源的表面分析技術(shù)。 待分析區(qū)域的原子受激發(fā)后發(fā)射出具有元素特征的俄歇電子。通過檢測(cè)俄歇電子的動(dòng)能進(jìn)行定性和半定量分析。AES有較高的空間分辨率，可用來表征材料表面和界面的元素組成，元素在材料表面和深度的分布。AES 還是分析材料表面微污染，微腐蝕，鈍化層，納米級(jí)鍍層，微米級(jí)部件的理想手段。

技術(shù)參數(shù)

檢測(cè)信息：來自樣品表面的Auger電子

元素測(cè)定：Li-U

檢測(cè)限：0.1% (原子百分比)

主要應(yīng)用

·         缺陷（污染/腐蝕/劃痕等）分析

·         微小顆粒分析

·         表面成分分析

·         元素深度分布分析

·         薄膜成分分析

相關(guān)行業(yè)應(yīng)用

• 航空航天
• 生物醫(yī)學(xué)
• 數(shù)據(jù)存儲(chǔ)
• 國(guó)防
• 顯示器
• 電子
• 半導(dǎo)體
• 電信

AES分析的優(yōu)勢(shì)

• 可進(jìn)行點(diǎn)分析（30nm）
• 可進(jìn)行半定量分析
• 好的表面靈敏度
• 良好的深度分辨率

AES分析的局限性

• 無標(biāo)樣做精確定量分析
• 絕緣體難分析
• 樣品必須真空兼容
• 較低的檢測(cè)靈敏度（原子百分比0.1%）