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SEM/EDS- 掃描電子顯微鏡/能量色散譜儀

掃描電子顯微鏡 （SEM）是一種采用電子源入射的高分辨成像儀器，其拍攝的圖片與光學(xué)顯微鏡比具有更高的放大倍率，良好的井深等特點(diǎn)。樣品不同的材質(zhì)和不同的表面形貌在電子入射下會產(chǎn)生不同量的電子，從而在圖片上呈現(xiàn)不同的灰度。

X射線能譜儀(EDS)是一種能和掃描電子顯微鏡（SEM）相結(jié)合的一種分析能力，EDS能提供直徑小至納米級別的區(qū)域的元素分析。電子束轟擊試樣表面產(chǎn)生代表特征元素的X射線。利用EDS，可以測定單個點(diǎn)的元素組成，也可以得到測試區(qū)域內(nèi)的元素分布圖，可定性定量測定樣品的元素組成。

技術(shù)參數(shù)

檢測信息：來自樣品表面的二次電子，背散電子，X-Ray

元素測定：B-U

檢測限：0.1 – 1% （原子百分比）

測試深度：0.5 – 3 μm

主要應(yīng)用

·         樣品表面的結(jié)構(gòu)和形貌

·         樣品的元素組成

·         表面顆粒物/污染物/腐蝕的分析

·         鍍層厚度和成分分析

相關(guān)行業(yè)應(yīng)用

·         航空航天

·         汽車

·         生物醫(yī)學(xué)與生物技術(shù)

·         化合物半導(dǎo)體

·         數(shù)據(jù)存儲

·         國防

·         顯示器

·         電子

·         工業(yè)產(chǎn)品

·         照明

·         制藥 

·         光電子

·         聚合物

·         半導(dǎo)體

·         太陽能光伏發(fā)電

分析的優(yōu)勢

·         快速分析

·         多功能，廉價，應(yīng)用廣泛

·         部分樣品的定量（平坦、拋光后、均質(zhì)）

分析的局限性

·         對于不平坦、未拋光、不均質(zhì)樣品的半定量化

·         樣品必須導(dǎo)電性好， 真空相容性好（對于有機(jī)材料不是很理想）

·         對低原子序數(shù)元素靈敏度低

·         分析后或表面噴鍍后對后續(xù)表面分析有影響

·         較低的探測靈敏度