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聚焦離子束（FIB）

聚焦離子束（FIB）儀器采用細(xì)微的聚焦離子束對樣品進(jìn)行加工，主要用于制備非常精準(zhǔn)的樣品橫切面以用于隨后的SEM、STEM、TEM成像。另外，FIB可以直接探測發(fā)射電子用于直接成像。FIB的對比機(jī)制不同于SEM或STEM， 因此對一些特定的樣品，FIB能提供獨(dú)特的信息。雙束FIB/SEM技術(shù)整合這兩種技術(shù)為一種分析工具，因此可同時用于試樣制備和SEM成像。

作為一種試樣的制備工具，FIB能夠準(zhǔn)確制備復(fù)雜的橫切面試樣，諸如：

• FIB已經(jīng)革新了TEM樣品制備功能，使它能夠識別亞微米特征并精確地制備橫切面。
• FIB制備的截面被廣泛應(yīng)用于SEM中； FIB制備，SEM成像、成份分析都可以在這一多技術(shù)支持工具上進(jìn)行。
• FIB制備的樣品也可用俄歇電子能譜儀表征不同層元素的組成。
• 在半導(dǎo)體行業(yè)用來做次表面顆粒識別。
• 對于難以制備截面的產(chǎn)品（比如難以拋光、質(zhì)軟的聚合物），它是一個很好的工具。

技術(shù)參數(shù)

信號檢測： 電子

深度分辨率：5 – 15 Ǻ (二次電子)， <2μm (背散電子)

橫向分辨率/束斑尺寸：大于等于7nm

主要應(yīng)用

• SEM, STEM和TEM 樣品準(zhǔn)備
• 具有小面積、精細(xì)特征樣品的高分辨率切面成像
• 芯片電路改裝

相關(guān)行業(yè)應(yīng)用

• 生物醫(yī)學(xué)/生物技術(shù)
• 數(shù)據(jù)存儲
• 光學(xué)
• 半導(dǎo)體
• 電信

分析的優(yōu)勢

• 分析截面上精密結(jié)構(gòu)的最好方法
• 快速，高分辨率成像
• 良好晶粒對比成像
• 支持許多種工具的多功能平臺

分析的局限性

• 要求真空兼容性
• 成像可能會影響隨后的分析
• 殘留在分析表面的Ga元素
• 離子束損傷可能影響成像分辨率
• 橫截面面積現(xiàn)對較小